《微機電系統(MEMS)設計和原型設計指南》是2014年11月出版的圖書，作者是李會丹。
基本介紹
- 書名：微機電系統（MEMS）設計和原型設計指南
- 作者：李會丹
- ISBN：978-7-118-09690-3
- 頁數：135
- 定價：69.00
- 出版時間：2014年11月
- 裝幀：平裝
- 開本：16
- 版次：1版1次
- 字數：161
- 中圖分類：TM380.2-62
內容簡介,目錄,
內容簡介
微機電系統（MEMS）設計和原型設計指南 無論你是正在學習初級MEMS課程的學生，還是想要在MEMS設計上進步飛速的設計師，這些實用指導都可以提供開展MEMS器件設計、製造和測試所需要的實操經驗。你可以了解到如何使用代工廠多工程製造工藝進行低成本MEMS工程設計，以及如何使用計算機輔助設計工具（布局、建模）進行MEMS器件的設計。
在本書中描述和分析了大量的設計案例，涉及領域包括微觀力學、電磁學、光學、熱學和流體學等。其中有一章專門介紹MEMS器件的封裝和測試；此外，在本書每章的最後，都描述了 MEMS設計的實踐和挑戰，並提供了相關的解決方案。 Joel A. Kubby是加州大學聖克魯茲分校巴斯金工程學院的電子工程教授。此前，他曾經是施樂威爾遜研發中心的區域經理，也是紐約韋伯斯特的技術人員之一。他曾經帶領一個由6 個企業聯合而成的工業研究組織進行光學MEMS的新工藝開發，該項目屬於國家標準和技術研究所的高端技術計畫（ATP），Joel A. Kubby本人擁有超過80項專利。
目錄
第1章引言1
1.1MEMS製造概述1
1.2共享晶圓工藝5
1.2.1多項目晶圓工藝5
1.3設計規則18
1.4版圖20
參考文獻27
第2章微觀力學30
2.1彈簧30
2.1.1並聯彈簧32
2.1.2串聯彈簧32
2.2屈曲33
2.3泊松比33
2.4切向應力和切向應變張量35
2.5其他梁36
2.6扭轉38
2.7薄膜39
2.8測試結構40
2.9阻尼42
2.10加速度計43
2.10.1懸臂樑44
2.10.2碰撞感測器44
2.11壓力感測器46
參考文獻51
第3章靜電驅動52
3.1機械回復力55
3.2梳狀驅動諧振器583.3懸臂樑諧振器60
3.4雙端固支梁諧振器60
參考文獻64
第4章光學MEMS66
4.1反射懸臂樑光調製器66
4.2單軸扭轉鏡68
4.3雙軸扭轉鏡：朗訊路由光電轉換器72
4.4PolyMUMPs工藝中的法布里—珀羅干涉儀77
4.5獲取平整光學MEMS器件82
參考文獻85
第5章熱學MEMS87
5.1驅動器90
5.2冷臂—熱臂式熱驅動器91
5.3熱壓電雙晶片96
5.4輻射熱計98
5.5熱噴墨印表機100
5.6熱損傷限制熱驅動MEMS100
參考文獻102
第6章流體MEMS103
6.1運動方程103
6.2微流體103
6.2.1雷諾數106
6.2.2表面張力107
6.2.3接觸角度108
6.2.4毛細上升109
6.3噴墨列印110
參考文獻115
第7章封裝和測試116
7.1發布116
7.2測試設備117
7.3機械測試118
7.4電氣測試119
7.5光學特性120
參考文獻122
第8章從原型到產品：MEMS——自適應光學可變形反射鏡123
參考文獻133
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