徐華(清華大學計算機科學與技術系副研究員)

教育背景

工學學士 (計算機科學與技術), 西安交通大學, 中國, 1998;

工學碩士 (計算機套用技術), 清華大學, 中國, 2001;

工學博士 (計算機套用技術), 清華大學, 中國, 2003.

科研概況

研究領域

分散式智慧型信息處理

積體電路製造裝備先進工藝控制

研究概況

研究團隊重點專注於進化計算、智慧型信息處理的套用基礎研究、積體電路裝備先進控制技術的套用研究等領域。在進化計算研究方面，專注於改進當前的基於多變數的分散式估計最佳化算法，以提高算法的收斂速度和最佳化解的質量。在智慧型信息處理方面，我們基於當前的機器學習算法，展開網際網路文本信息的情感分析與挖掘方面的研究工作。在積體電路裝備先進控制技術的套用研發方面，針對標準化的積體電路製造裝備，研發集束型的裝備控制軟體與平台。

作為一種多變數分布估計算法（EDA），提出的L1BOA算法採用了L1規則化回歸（L1-regularized regression）方法，從參數估計的角度解決了貝葉斯網路的學習問題，能夠支持構建稀疏、近優的網路模型。與經典的貝葉斯最佳化算法（BOA）相比，L1BOA算法能夠提高貝葉斯網路模型的學習效率，並且自動調控網路的複雜程度。

針對300mm積體電路製造裝備在集群化控制上的套用需求，研發了標準化、模組化、網路化的積體電路製造裝備的集群化控制方法及其實現技術，為中國積體電路裝備研發產業提供了共性核心技術的支持。我們同時基於積體電路裝備集群化控制技術，面向200mm刻蝕機套用控制需求，研發了集群化的刻蝕機控制系統。到2007年，刻蝕機系統已經實現了產業化，相應的核心技術已經套用於國內主流的200mm和300mm積體電路生產線上。該研發項目也因此獲得2009年度國家科技進步二等獎和2007年度北京市科技進步一等獎。

研究課題

國家02號科技重大專項子課題: PVD整機裝備檢測平台研發 (2009-2010);

國家02號科技重大專項子課題: 集束式控制平台與軟體 (2009-2010);

國家自然科學基金面上項目: 基於Agent的時間Petri網協作多機器人系統建模與性能評價方法研究 (2006-2007);

國家自然科學基金面上項目: 基於機率模型演化算法的協作多機器人系統學習與協調控制方法研究 (2009-2011).

獎勵與榮譽

國家科技進步二等獎——100nm高密度等離子刻蝕機研發與產業化 (2009);

北京市科技進步一等獎——100nm高密度等離子刻蝕機研發與產業化 (2007).