堅膜烘烤

光刻工藝完成後，有時還需要對光刻膠再做一次烘烤。這次烘烤的目的是使得光刻膠圖形更加的堅硬，為後續工藝提供方便，這次烘烤又被稱為堅膜烘烤（hard bake）。

基本介紹

• 中文名：堅膜烘烤
• 外文名：hard bake

堅膜烘烤的溫度必須控制好，不能高於光刻膠的玻璃轉變溫度（glass transition temperature, Tg）;否則光刻膠會軟化，導致形狀的破壞。堅膜烘烤大多用於I-線（365nm波長）的光刻工藝，在248nm以後已經很少使用。