烤膠機

烤膠機是一種廣泛套用於半導體製造、納米薄膜製備和材料熱處理領域的精密設備。該設備主要通過精確控溫實現光刻膠固化、晶圓烘烤、塗層乾燥等工藝，具有溫度穩定度高、重複性好的特點。主要生產廠商包括江蘇雷博科學儀器有限公司、上海雋思實驗儀器有限公司等企業。根據不同套用場景，烤膠機可分為標準型、充氮型、高溫型等多個類別，最高工作溫度可達600℃。在半導體製造領域，烤膠機用於前烘、堅膜等關鍵工序，對提升晶片製造精度起到重要作用。

基本介紹

• 套用領域：半導體製造、納米薄膜製備
• 典型溫度：室溫至600℃
• 控溫精度：±0.5℃
• 設備分類：標準型、高溫型、精密型
• 主要廠商：江蘇雷博、上海雋思
• 加熱板尺寸：184×184mm至200×200mm

套用領域

烤膠機主要用於半導體矽片的光刻膠固化、晶圓烘烤等工藝，在納米薄膜製備中用於鈣鈦礦太陽能電池薄膜的固化處理。該設備還可套用於電子、化工等行業的工礦企業、科研、教育等單位進行熱老化、溫度試驗及乾燥、烘焙、**和熱處理等試驗。

產品型號

1. 烤膠機-350：由美國凱美特技術公司設計，具有烘烤時間短、薄膜固化效果好的特點，最高工作溫度300℃。
2. SC-H-II型：採用全不鏽鋼機身，溫度範圍室溫至500℃，恆溫波動度±0.5℃，支持基片尺寸定製服務。
3. HP100-HT高溫型：最高工作溫度600℃，表面熱均勻性±4%，適用於化工實驗室。

技術參數

不同型號烤膠機的核心參數包括：

• 溫度均勻性：最高溫度時≤±3%
• 加熱板尺寸：184×184mm（標準型）至200×200mm（定製型）
• 電源電壓：單相110-240V供電
• 重量範圍：6.5KG（SC-H-II型）至7KG（烤膠機-350）

生產廠商

1. 江蘇雷博科學儀器有限公司：成立於2013年，主要生產納米薄膜製備類烤膠機，產品涵蓋簡易型至高端程控型。
2. 上海雋思實驗儀器有限公司：專注晶圓熱板設備製造，產品具有N2吹掃、真空腔體等可選模組。
3. 江陰市佳圖科技有限公司：提供自主研發烤膠機及代理國外設備，套用於MEMS生產領域。

研發進展

江蘇雷博科儀自主研發產品填補國內電鏡制樣設備空白。上海雋思實驗儀器有限公司推出的定製化加熱盤進一步提升設備適配性。