剖面分析

剖面分析prDFiie Zn3lysis系指分析樣品中雜質的剖面分布特徵，一般可採用離子束分析、全反射x射線螢光分析、同步輻劉X習寸線分析、冷中了活化分析以及瞬發輻射分析等。現已可測定雜質在樣品中的三維分布特徵。