壓電力顯微鏡(PFM)即是在AFM基礎上發展起來利用原子力顯微鏡導電探針檢測樣品的在外加激勵電壓下的電致形變數的顯微鏡。
簡介,原理,套用,
簡介
壓電力顯微鏡是在商用原子力顯微鏡的基礎上配備四象限光探測器、導電探針、函式發生器和兩個鎖相放大器。PFM的探針以接觸模式對試樣進行掃描，信號發生器所產生的交流電壓施加於PFM探針與試樣底電極之間，PFM微懸臂背面所反射的雷射束強度變化由PSD探測，所探測的信號反映了壓電振動信息，該信號送入鎖相放大器，鎖相內部的參考信號與試樣底電極相連線。
原理
壓電力顯微鏡(PFM)即是在AFM基礎上發展起來利用原子力顯微鏡導電探針檢測樣品的在外加激勵電壓下的電致形變數的顯微鏡。為了有效的提取出PFM信號，通常會對探針施加某一固定頻率(遠低於探針共振頻率)的激勵信號，通過鎖相放大器對PFM信號進行提取。而常規的PFM測試中，激勵電壓一般為10V左右，所獲得的PFM形變信號非常的微弱(pm量級)，幾乎和探針的熱噪聲相當，這極大的限制了PFM信號的穩定性和靈敏度。利用PFM可以獲得鐵電材料的以下信息：靜態電疇結構、電疇反轉行為、慢弛豫過程、微區電滯回線。
套用
這一成像技術在開發基於鐵電疇變等的新型電子設備方面引起了極大的關注，在對將來電腦存儲等領域的諸多套用方面的發展有著巨大的潛力。壓電回響力顯微技術是在掃描探針顯微鏡的基礎上，在接觸式掃描過程中對探針施加一個交流電壓，利用材料自身逆壓電效應來探測樣品表面形變的一類技術總稱。壓電回響力顯微技術已經成為鐵電材料研究的重要手段，廣泛套用於納米尺度疇結構的三維成像、疇結構的動態研究、疇結構控制和微區壓電、鐵電、漏電等物理性能表征等領域。其最大的優勢就是同時具有極高的解析度（~10-20 nm）和靈敏度（~0.1 pm/V）。
