PFC(全氟化合物)

PFC是指全氟化合物，在半導體製造領域，主要是在CVD工序中做為清潔氣體使用和在乾法刻蝕工序中作為工藝氣體使用。其由於能破壞地球的臭氧層產生溫室效應已經被列為減少排出對象。

基本介紹

• 中文名：PFC
• 別名：全氟化合物
• 特點：具有持久性和生物累積性
• 缺點：具有生殖毒性、誘變毒性

簡介

研究表明，全氟類化合物具有持久性和生物累積性，在生物體內的蓄積水平高於已知的有機氯農藥和二惡英等持久性有機污染物的數百倍至數千倍。全氟類化合物還具有生殖毒性、誘變毒性、發育毒性、神經毒性、免疫毒性等多種毒性，是一類具有全身多臟器毒性的環境污染物。毒理學研究中可觀察到的毒性具體包括：抑制免疫系統，影響線粒體代謝，導致肝細胞損傷，生殖細胞受損，降低繁殖與生育能力，影響胎兒的晚期發育，基因表達的改變，干擾酶活性，破壞細胞膜結構，改變甲狀腺功能，等等。