基本介紹
- 外文名：Nikon L200
- 類型：顯微鏡
- 倍率：25×-1500×
- 特點：全面的防污染措施
簡介,技術參數,拍攝效果,
簡介
Nikon L200/L200D高倍金相顯微鏡適用8寸晶圓及大面板LCD/TFT產業開發。同樣採用領先的CFI60無窮遠高對比度光學系統，並提供高達25mm的廣闊視野。擁有CFI60光學系統用於積體電路檢查顯微鏡，由此獲得全所未有的高對比圖像。使得物鏡不僅工作距離更長，而且數值孔徑更高：符合SEMI S293A，S8-95S設計；利用計算機輔助工程系統，對機身進行防震設計；具有全面的防污染措施。
技術參數
◆倍率：25×-1500× （明暗場可以選擇）
◆專配L2-S8 8x8 移動載物台（移動範圍200X200mm）
◆8寸晶片（可加裝專業的Wafer holder ）
◆可以選配專業偏光（Polarizer）
◆可以選配微分干涉稜鏡（DIC）
◆可以附加NIKON 專業數位相機及CCD影像擴展
◆可以附加專業金相測量軟體實現電腦測量
◆可以選配專業半導體8寸晶片自動裝載機配合使用，提高測試檢查的自動化。
拍攝效果
Nikon L200 對半導體觀察效果
