Nikon L200擁有CFI60光學系統用於積體電路檢查顯微鏡,由此獲得全所未有的高對比圖像。使得物鏡不僅工作距離更長,而且數值孔徑更高:符合SEMI S293A,S8-95S設計;利用計算機輔助工程系統,對機身進行防震設計;具有全面的防污染措施。
基本介紹
- 中文名:Nikon L200N
- 倍率:25×-1500×
- 移動載物台:L2-S8 8x8
- 晶片:8寸
運用範圍,技術參數,
運用範圍
科學研究分析,材料分析,微電子觀察,TFT 液晶檢查,4寸 5寸 6寸 8寸半導體晶圓檢查。

技術參數
◆可以選配專業偏光(Polarizer)
◆可以選配微分干涉稜鏡(DIC)
◆可以附加NIKON 專業數位相機及CCD影像擴展
◆可以附加專業金相測量軟體實現電腦測量
◆可以選配專業半導體8寸晶片自動裝載機配合使用,提高測試檢查的自動化。


