Hexsil是一種準LIGA工藝，指利用高深寬比刻蝕技術（如DRIE）在矽片或其他基片上刻蝕出高深寬比結構，然後採用電鍍或澱積加犧牲層腐蝕該模具的辦法獲得金屬或矽元件的工藝過程。 基本介紹 外文名：Hexsil特點：準LIGA工藝類型：工藝過程工藝過程：電鍍或澱積加犧牲層腐蝕 也指大高寬比圖形。
