BOE(緩衝氧化物刻蝕液)

BOE（Buffered Oxide Etch），緩衝氧化物刻蝕液。由氫氟酸（49%）與水或氟化銨與水混合而成。

Buffered Oxide Etch，BOE就是buffer oxide etch， B.O.E 緩衝蝕刻液 BOE是HF與NH4F依不同比例混合而成。6:1 BOE蝕刻即表示49%HF水溶液：40%NH4F水溶液=1：6（體積比）的成分混合而成。刻蝕速度約10nm每秒。HF為主要的蝕刻液，NH4F則作為緩衝劑使用。利用NH4F固定〔H+〕的濃度，使之保持一定的蝕刻率。HF會浸蝕玻璃及任何含矽石的物質，對皮膚有強烈的腐蝕性，不小心被濺到，套用大量水沖洗。