ALIGNMENT對準

1. 定義：利用晶片上的對準鍵，一般用十字鍵和光罩上的對準鍵合對為之。2. 目的：在IC的製造過程中，必須經過6~10次左右的對準、曝光來定義電路圖案，對準就是要將層層圖案精確地定義顯像在晶片上面。3. 方法：A.人眼對準B.用光、電組合代替人眼，即機械式對準。