高真空離子濺射儀

基本介紹

• 中文名：高真空離子濺射儀
• 外文名：Sputter Coaster
• 特點：自動洗靶，自動濺射
• 範圍：不使用膜厚監控
• 最多循環：9次

使用膜厚監控

1.打開總電源，打開氬氣開關（兩成保持在0.035Mpa左右，濺射時也要注意氬氣的流量）。

2.按主機背面的開關按鈕，進入開機界面，根據提示進行下面一系列的操作。

3.接下來儀器就開始自動洗靶，自動濺射，濺射結束後要稍等片刻，然後按stop放氣。待放氣操作完成後，開蓋，取出樣品。

4.Target B type操作同上。

不使用膜厚監控

1.其餘操作步驟同上，但要根據自己的需要設定濺射電流和濺射時間（最長時間是4min），和循環次數（最多循環9次），按上下鍵設定時間。

2.接下來儀器就開始自動洗靶，自動濺射，濺射結束後要稍等片刻，然後按stop放氣。待放氣操作完成後，開蓋，取出樣品。

3.B靶操作同A靶。

常見故障

故障現象	判斷與解決方法
濺射電流不穩定忽高忽低	陰極罩與靶的固定環距離過近。逆時針旋轉陰極罩，調整間距。
真空過低	旋緊放氣閥、漏氣閥和觀察泵的油窗液面
使用一段時間後，濺射電流變小	檢查靶材有無變色、破裂和油污等現象。前兩者更換靶材；後者被油蒸汽污染，使用無水乙醇清潔，待乾後方可抽真空。
使用一段時間後，真空過低	檢查濺射室中或管道內是否有油，可用汽油清洗。