靜電吸盤

產品介紹

靜電卡盤是一種適用於大氣或真空環境的超潔淨薄片承載體、抓取搬運設備的總稱，其所使用的靜電吸附技術是一種替代傳統機械夾持、真空吸附方式的優勢技術，在半導體、面板顯示、光學等領域中有著廣泛套用。

原理

在真空中兩個靜止的點電荷Q1與Q2之間的相互作用力的大小和Q1、Q2的乘積成正比，和它們之間的距離r的平方成反比，作用力的方向沿著它們的連線，同種電荷相互排斥，異種電荷相互吸引。

庫侖力公式：

其中Q1和Q2分別是兩物體的帶電量，r是兩物體（中心）間的距離，k是一個常數。

靜止帶電體之間的相互作用力。帶電體可看作是由許多點電荷構成的，每一對靜止點電荷之間的相互作用力遵循庫侖定律，又稱靜電力。

技術原理

當一個帶有靜電的物體靠近另一個不帶靜電的物體時，由於靜電感應，沒有靜電的物體內部靠近帶靜電物體的一邊會集聚與帶電物體所攜帶電荷相反極性的電荷（另一側產生相同數量的同極性電荷），由於異性電荷互相吸引，就會表現出“靜電吸附”現象。

工作原理

ESC ADSORPTION SYSTEM 依據庫倫定律（兩個靜止的帶電粒子間的相互作用力）和洛倫茲定律（運動的電和在磁場中受的力），利用電磁力從而實現對物體有效地吸附。

ESC ADSORPTION SYSTEM 靜電控制器通過將直流電壓經過增壓及倍壓處理，轉化為高壓靜電，靜電高壓經過靜電吸附單元(以單極或雙電極輸入模式)形成靜電磁場，從而對物體（導體或非導體機制）進行靜電吸附。

功能配置

靜電卡盤系統由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈衝保護；靜電吸附單元電極採用高頻導體，表面一種採用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種採用聚醯亞胺薄膜覆膜，在保證輸出穩定，同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。

產品特色

產品優勢

傳統抓取搬運設備採用的是機械運動或真空吸力，但這類機器體型很大，造價高昂，耗電很高；想要拿起特定的物體，還需要對它們進行配置。而如果對象是玻璃板這樣的脆弱物體，那它們也無能為力。靜電卡盤系統可舉起並運輸物體，其表面的電極可在幾乎任何物體之間產生並維持強大的吸附力，可以拿起任何物體，比如罐子、水果、盒子、箱子、玻璃板、矽膠板和纖維板。

使用特點

能在大氣和真空環境下同時使用；

能吸附導體、半導體、絕緣體及多孔材料；

精簡夾持搬運機構，靜電吸附能耗低；

吸附力均勻，吸附時不會出現局部受力；

對大面積薄片工件輕軟支撐，吸附時不會產生傷痕和皺紋；

能夠快速開啟和關閉，對象物體背面不產生電位，不吸附周圍的灰塵。

運用領域

面板行業真空貼合、半導體晶片封裝、微電子積體電路、精密光學元件製造、太陽能光伏生產領域等。

中文名稱	靜電吸盤
英文名稱	electrostatic chuck
定　　義	用靜電荷產生的吸力吸緊工件的吸盤。
套用學科	機械工程（一級學科），工具機附屬檔案（二級學科）