電子聚焦（electron focusing）是2019年公布的物理學名詞。
基本介紹
- 中文名：電子聚焦
- 外文名：electron focusing
- 所屬學科：物理學
- 公布時間：2019年
公布時間,出處,
公布時間
2019年，經全國科學技術名詞審定委員會審定發布。
出處
《物理學名詞》第三版。
電子聚焦
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聚焦離子束掃描電子顯微鏡是一種用於材料科學、化學、物理學、航空、航天科學技術領域的分析儀器，於2013年10月21日啟用。技術指標 SEM 解析度：高真空：3.0nm（30kV）；10nm（3kV） 低真空：4.0nm（30kV） 放大倍數: 5-300,000 加速電壓：0.3-30kV多種步進調壓方式 FIB 1 主要參數： (加速電壓 40 kV) ...
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