電子探針顯微鏡用於地質、冶金、電子、建材、環境科學、半導體及材料科學等樣品，可做固體樣品的微區定性和定量分析。
基本介紹
- 中文名：電子探針顯微鏡
- X射線射角：40°
- 放大倍率：50～70000
- 加速電壓：0～50kV
主要用途： 用於地質、冶金、電子、建材、環境科學、半導體及材料科學等樣品，可做固體樣品的微區定性和定量分析，X射線線面掃描及背散射與二次電子圖像等分析，包括： 1.元素定性和定量分析，可做礦物鑑定； 2.樣品微區的表面形態，化學成份和微結構的分析； 3.狀態分析，確定元素的賦存狀態。
儀器類別： 03040703 /儀器儀表 /光學儀器 /電子光學及離子光學儀器
指標信息： 三道X射線波譜儀和一台能譜儀，常用分光晶體有LIF PET TAP等。 X射線射角40°，放大倍率50～70000，加速電壓0～50kV. 二次電子圖像解析度70?，真空度：電子槍1×10-7乇，樣品室1×10-8乇。 Sun工作站Unix系統多任務多視窗作業系統。新添PC2，PC3多層膜晶片，可以用其進行超輕元素B，C，N，O，F等元素的測定。同時在最近我們還將安裝從CAMECA公司購買的陰極發光探頭可以用以進行陰極發光成圖
