離子注入氣

離子注入氣

氣體工業名詞，離子注入是把離子化的雜質，例如P+，B+，A+s加速到高能量狀態，然後注入到預定的襯底上。離子注入技術在控制Vth（閾值電壓）方面套用得最為廣泛。注入的雜質量可通過測量離子束電流而求得。離子注入工藝所用氣體稱離子注入氣，有磷系，硼系和砷系氣體。