鎢鈦粉

鎢鈦粉是一種由鎢和鈦組成的合金粉末，主要套用於航空航天、醫療器械、電子設備及化工等領域的高強度材料、耐腐蝕部件及高溫工具製造，同時作為半導體器件製造中的擴散阻擋層材料用於銅/銀布線工藝。

該材料以高純度（≥99.95%的鈦粉及仲鎢酸銨為原料）和優異熱穩定性為特性，通過溶解混合、高壓反應及等離子還原等工藝製備，納米級粉末需藉助惰性氣體電離產生的高溫電漿還原氧化物獲得。其典型製品如鎢鈦合金靶材，密度可達理論值99%以上，晶粒尺寸≤50μm，純度達99.99%以上，雜質含量控制在0.1-0.5ppm以下。

基本介紹

• 中文名：鎢鈦粉
• 外文名：Tungsten titanium powder

基本信息

鎢鈦粉的質量是對鎢鈦和鎢鈦合金優越性能的保證，鎢鈦粉工業面臨極大的挑戰，它必須滿足市場對它愈來愈高的要求，對鎢鈦粉的生產不僅有化學純度方面的要求，而且也有物理性能和工藝性能方面的要求，特別是為滿足一些特殊用途的超細鎢鈦粉的製備技術還有待解決。

製備方法

(1)將鎢酸銨加入蒸餾水中加熱溶解，再加入鈦酸丁酯和異丙酯；

(2)再滴加鹽酸溶液，磁力攪拌混合均勻；

(3)將混合溶液置於高壓反應釜中加熱反應；

(4)再冷卻至室溫後過濾，得到沉澱物；洗滌沉澱物，並烘乾；

(5)將烘乾的沉澱物放入馬弗爐中灼燒，得到氧化鈦和三氧化鎢粉體；

(6)將氧化鈦和三氧化鎢粉體置於等離子反應室中，在該反應室內通過電離惰性氣體形成高溫電漿，氧化鈦和三氧化鎢粉體被高溫電漿加熱後在還原氣氛下還原成鎢鈦粉。

相關實例

取300g鎢酸銨加入2L蒸餾水中，加熱到70°C使鎢酸銨溶解，再將45 mL鈦酸丁酯和150 mL異丙酯加入到鎢酸銨溶液中；將30g鹽酸配置成溶液，緩慢滴加至上述溶液中，室溫下磁力攪拌30min;攪拌均勻後置於內襯聚四氟乙烯的高壓反應釜中，把反應釜放入80°C的烘箱中反應24h ;反應後冷卻至室溫，過濾並用蒸餾水、無水乙醇反覆洗滌沉澱物；所得沉澱放入50°C烘箱中乾燥10h，再放入400°C的馬弗爐中灼燒4h ;然後粉體置於等離子反應室中，以工作電壓為60v，工作電流為400A的條件產生的電弧電離氬氣，電漿對三氧化鎢和氧化鈦粉體加熱溫度維持在1000°C左右，得到的摻鈦鎢粉平均粒徑為57nm。