金屬靶材

金屬靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。

基本介紹

• 中文名：金屬靶材
• 含義：高速荷能粒子轟擊的目標材料

材料介紹

簡單說的話，例如：蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜......鋁膜等。更換不同的靶材（如鋁、銅、不鏽鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。

鎢鈦合金

套用於顯示屏的阻擋層或調色層，筆記本電腦的裝飾層、電池的封裝等.

W-Ti靶材

尺寸為：

矩形靶材：L800mm×W200mm×H 客戶自選厚度。（為國際上同類產品最大尺寸）
圓形靶材：Ф460mm×H 客戶自選厚度（為國際同類產品最大尺寸）
密度 ≥ 99.9%TD，
純度 ≥ 99.995%
以上三個指標都為國內產品最高水平，國際先進水平

套用

鎢-鈦（W-Ti）膜以及以鎢-鈦（W-Ti）為基的合金膜是高溫合金膜，具有一系列不可替代的優良性能。鎢具有高熔點、高強度和低的熱膨脹係數等性能，W/ Ti 合金具有低的電阻係數、良好的熱穩定性能和抗氧化性能。如各種器件都需要起到導電作用的金屬布線，例如Al 、Cu 和Ag 等已經被廣泛的套用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環境發生反應,與介質層的粘結性差,易擴散進入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中，並且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物, 充當了雜質的角色,使器件的性能大幅度下降。而W-Ti 合金因具有穩定的熱機械性能、低的電子遷移率、高的抗腐蝕性能和化學穩定性使其很容易作為布線擴散阻擋層，特別是適合在高電流和高溫的環境下使用。

發展前景

鎢-鈦靶材作為光伏電池鍍膜材料是最近發展起來的，它作為第三代太陽能電池的阻擋層是最佳選擇。
由於 W-Ti 系列薄膜具有非常優良的性能，近幾年來套用量急劇增加，2008年W-Ti 靶材世界用量已達到400t，隨著光伏產業的發展，這種靶材的需求量會越來越大。具行業預測其用量還會有很大的增加。國際太陽能電池市場以100%的速度增長，目前世界有30 多公司參與太陽能市場的進一步開發， 並已有的公司產品投入市場。我國研發的超大尺寸、高密度、高純W-Ti 靶材，是屬於新型的離子濺射鍍膜靶材料。可廣泛套用於顯示屏的阻擋層或調色層，筆記本電腦的裝飾層、電池的封裝、太陽能（光伏）電池的阻擋層，具有很好市場前景和經濟效益。另一方面又可帶動我國鎢產業的產品升級換代，獲得更高的附加值。