重慶大學微系統中心

重慶大學微系統中心依託於重慶大學，主要合作單位有中國電子科技集團公司第二十四研究所等。中心主要從事MEMS設計、研發及加工關鍵技術研究、產業化轉化和人才培養。

基本介紹

• 中文名：重慶大學微系統中心
• 隸屬：重慶大學
• 中心主要從事：MEMS設計
• 完成了：國家“863”MEMS重大專項

中心簡介

中心承擔和完成了國家“863”MEMS重大專項、國家“973”“微光機電系統”、總裝備部“微米/納米專項”、國家自然科學基金委“重大項目”、國家“科技攻關”和重慶市“科技攻關”等國家和省部級項目40餘項，經費近3500萬元；和德國政府科教部已簽訂達1250萬歐元的合作研究項目。研製出的“微型光譜分析系統”、“微型生化光譜分析儀器”達到國際先進水平，現在正在產業化研究開發和試生產。“基於MEMS的人體腔道診療系統”樣機已完成動物實驗，進入臨床實驗階段。申請專利近40項，發表論文200餘篇；已形成具有自身特色的研究方向、在國內外具有重要影響的微光機電系統技術研究和產業化的工程中心。

中心建立了面向西南地區的“MEMS器件及系統設計開發聯合開放實驗室，擁有國際先進的MEMS和CMOS電路設計及模擬軟體，MEMS感測器及微型分析儀器的組裝和測試設備。中心以中國電子科技集團公司第二十四研究為核心的中心加工平台已成為國內IC和MEMS器件集成的加工的重要平台，現有一條 4英寸2μm CMOS生產線，一條6英寸0.8μm BiCMOS生產線正在試運行中。

交流合作

中心與美國UCSB、德國弗勞恩霍夫工程研究院、開姆尼茲大學、義大利聖安娜大學、法國原子能委員會、芬蘭、加拿大、泰國、台灣、香港中文大學等國家和地區的研發機構開展了學術交流，開展了卓有成效的國內外項目合作研究和學術交流。