郭立萍

姓名：郭立萍

職稱：山東理工大學理學院講師

學習經歷

1995-1999：曲阜師範大學，理學學士

基本介紹

• 中文名：郭立萍
• 國籍：中國
• 民族：漢
• 職業：講師
• 畢業院校：曲阜師範大學
• 性別：女

基本信息

1999-2002：煙臺大學，理學碩士

2002-2006：中科院上海光學精密機械研究所，工學博士

承擔課程

工作至今，曾講授過的課程有：《量子力學》，《力學》，《光電技術》，《大學物理》等

研究方向

主要從事光學光刻技術方面的研究。

研究項目

獲獎

學術交流

論文、專著

[1] Liping Guo, Xiangzhao Wang, Huijie Huang. Analysis of illumination pupil filling ellipticity for CD control in photolithography. Chinese Optics Letters, 2006, vol 4(4).

[2] Liping Guo, Huijie. Huang, Xiangzhao Wang. Exposure dose control for step-and-scan lithography. Proc. SPIE, 5645, 217-223, 2004.

[3] 郭立萍，王向朝，黃惠傑. 照明光瞳非對稱性對光刻成像影響. 光學學報,2006 vol 26(6).

[4] 郭立萍, 黃惠傑, 王向朝. 積分棒在步進掃描投影光刻系統中的套用. 光子學報, 2006 vol 35(7).

[5] 郭立萍, 黃惠傑, 王向朝. 步進掃描投影光刻機中的曝光劑量控制技術研究. 雷射雜誌, 2004 (12).

[6] 郭立萍, 黃惠傑, 王向朝. 光學光刻中的離軸照明技術. 雷射雜誌, 2005 (1).

[7] 郭立萍, 王向朝. 步進掃描投影光刻機中的雜散光原位檢測方法. 發明專利No.200510024229. X.