選擇性外延生長

中文名稱選擇性外延生長
英文名稱selective epitaxy growth
定  義在襯底上限定的區域內進行的外延生長。
套用學科材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),半導體材料製備(三級學科)

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