超高真空閥是2013年公布的機械工程名詞。
基本介紹
- 中文名：超高真空閥
- 外文名：ultra-high vacuum valve
- 所屬學科：機械工程
- 公布年度： 2013年
定義,出處,
定義
符合超高真空技術要求的，主要在該真空區域內使用的一種真空閥。其閥座和密封墊通常由金屬製成，可以進行烘烤。
出處
《機械工程名詞》。
超高真空閥
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超高真空閥 超高真空閥是2013年公布的機械工程名詞。 定義 符合超高真空技術要求的，主要在該真空區域內使用的一種真空閥。其閥座和密封墊通常由金屬製成，可以進行烘烤。 出處 《機械工程名詞》。
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