角柵距是光柵盤或圓光柵的光柵刻線間距。光柵在製造過程中，由於加工誤差可能導斂光柵的刻線不準確，角柵距直接關係光柵的計量精度。
基本介紹
- 中文名：角柵距
- 定義：光柵盤或圓光柵的光柵刻線間距
- 屬性：光柵術語
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誤差分析
光柵在製造過程中，由於加工誤差可能導致光柵的刻線不準確：光柵柵線誤差包括單周期誤差、刻線累積誤差和刻線清晰度3個方面，
單周期誤差是指光柵相鄰兩刻線之間的距離與光柵常數的差。通常單周期誤差是在光柵製造過程中由工具機及工具的隨機振動引起的。
刻線累積誤差是指在較大的範圍內，刻線間距的平均值與標稱光柵常數的差值。這種誤差通常是由光柵製造工具機的長周期運動誤差及製造時溫度等環境因素的變化引起的。
刻線清晰度是指刻線邊沿的直線度與清晰平整程度。由於蝕刻刀具或掩膜的作用，光柵刻線邊沿可能出現彎曲或毛刺等現象。
光柵盤
光柵盤是一個玻璃圓盤，在圓盤的不同直徑位置上刻有零位光柵、主光柵和通圈。主光柵是在整個圓周上排列許多等間隔的透光與不透光的刻線。每個刻線間隔表示一個角度增量，即分辨力。零位光柵是在扇形區內按一定規律排列若干條不等間隔的透光和不透光相間的刻線。通圈是在整個圓周都透光。
