三坐標光柵測量系統用透明雨不透明間隔相等的線紋製成，原理是全反射或漫反射，對應光柵測量系統。
基本介紹
- 中文名：三坐標光柵測量系統
- 對應：光柵測量系統
- 製作：透明雨不透明間隔相等的線紋
- 原理：全反射或漫反射
種類劃分,檢測原理,
種類劃分
1、三坐標光柵測量系統的種類，在玻璃的表面上製作透明雨不透明間隔相等的線紋，可製成透射光柵；
2、在金屬的鏡面上製成全反射或漫反射並間隔相等的線紋，稱作反射光柵；
3、也可以把線紋做成具有一定衍射角度的光柵。
檢測原理
光柵測量系統的檢測原理，光柵上刻有等間隔排列又能透過光線的細小的狹縫，如果把這樣兩個光柵一個固定在三坐標測量機上（標尺光柵），一個可以隨工作檯運動(稱為指示光柵)，並使兩者相互錯開一個角度θ疊合在一起，在“標尺光柵”與“指示光柵”的細小狹縫相交區域，透射光可以全部通過，便形成“亮區”；而在非相交部分，由於透射光被遮擋而形成“暗區”。這樣，在光柵的垂直方向上就可以形成明暗相間的條紋，這種條紋被人們稱為“莫爾條紋”。
光柵副（標尺光柵與指示光柵）沒相對移動一個柵距，莫爾條紋移動一個節距。莫爾條紋是由數百條光柵刻線共同形成的，因此它對光柵的刻線誤差有平均作用，提高了位移檢測精度。
光柵測量系統在三坐標測量機中是套用最廣的一種測量系統。這是因為它有許多優點，如光柵尺體積小，製造容易，安裝比較方便，測量精度較高，所得到的光電信號容易細分。但在三坐標保養維護時光柵尺怕油污和灰塵，一定要注意光柵尺的保養時要注意車間要無塵，不要用手隨意摸光柵尺。
