菲利普斯計

菲利普斯計Philips gauge冷陰極電離真空計二是根 據在低工E下氣體分子被高能粒子碰撞電離，所產生的離子流 隨氣體壓力而變化的原理，利J汀冷陰極放電，使氣體電離而制 成的真空計。它在測量極高真空方面有獨特的優點，多用於 大容積真空系統中，在宇宙探索中也廣泛採用。