基本介紹 中文名：脈衝雷射沉積Ta2O5薄膜過程及其性質研究外文名：Characterization and processing of Ta2O5 films deposited by pulsed laser ablation論文作者：傅正文 副題名外文題名Characterization and processing of Ta2O5 films deposited by pulsed laser ablation論文作者傅正文著導師秦啟宗教授指導學科專業物理化學學位級別d 1998n學位授予單位復旦大學學位授予時間1998關鍵字雷射燒蝕 薄膜技術 Ta2O5薄膜館藏號唯一標識符108.ndlc.2.1100009031010001/T3F24.012002602544館藏目錄BSLW 1999 TN305 2\ \
