矽片旋轉差

指積體電路製造工藝光刻模組中進行對準時，矽片中心因旋轉而產生的位置偏差。

基本介紹

• 中文名：矽片旋轉差
• 外文名：wafer rotation

光刻工藝中，當前工藝層套刻標記圖形和前道光刻工藝層套刻標記圖形相對鞏滲妹位海轎悼置進行套刻對準時，沿矽片中心因旋轉而產生朵連良的位置偏差，通常用角度來表征。

旋轉通白恥常是由於預對準精度不腿頁凶達足或者矽片缺口處有物拔棄勸理損傷影響預對準，引起矽片在工件台上放置的位燥嫌廈糊置存在旋轉引起。