矽片加工技術

內容簡介

本書主要從實際工藝的角度對矽片生產全過程進行了比較系統詳細的介紹，包括矽單晶的基本特性和晶體結構，矽片生產設備的種類、性能及其使用方法，矽單晶從滾磨與開方、切割、研磨、拋光、清洗一直到檢驗包裝的整個生產過程與管理，其中針對太陽能矽片的生產有適當的介紹，通過這些介紹，旨在使讀者能夠對矽片生產有一個全貌的認識，能具備矽片生產工藝與檢驗的基本知識，對各種設備儀器和工藝過程有所了解，有條件時可以通過實習掌握部分設備儀器的使用技能。
本書可作為高職高專太陽能光伏產業矽材料技術專業的教材，同時也可作為中專、技校和從事矽片生產的企業員工的培訓教材，還可供相關專業工程技術人員學習參考。

1矽
02矽單晶
03矽片
第1章晶體滾磨與開方
11晶體與磨削加工
12矽片主、副參考面的製作
13滾磨開方設備
14滾磨開方工藝過程
本章小結
習題
第2章晶體切割
21矽單晶晶體結構
22矽單晶的定向切割
23矽單晶切割工序相關矽片參數
24矽單晶內圓切割工藝
25矽單晶多線切割工藝
本章小結
習題
第3章矽片研磨
31矽片邊緣倒角
32矽片研磨工藝及其設備
33矽片熱處理
本章小結
習題
第4章矽片拋光
41矽拋光片特性參數
42矽片的化學減薄
43矽片拋光方法和設備
44矽片拋光工藝過程
本章小結
習題
第5章矽片清洗
51矽片清洗基本概念
52矽片清洗處理方法
53矽片清洗工藝
54純水製備系統簡介
55化學試劑的安全使用
本章小結
習題
第6章矽片檢驗與包裝
61矽片檢驗基本知識
62矽片電學參數檢驗
63矽片表面取向檢驗
64矽片幾何參數檢驗
65矽片表面質量檢驗
66矽片氧化誘生缺陷檢驗
67矽片檢驗設備舉例
68矽片包裝與運輸
本章小結
習題
第7章矽片生產管理與質量控制
71矽片生產過程管理
72矽片生產現場管理
73矽片生產工序控制
74矽片生產質量分析
本章小結
習題
附錄Ⅰ矽片生產加工名詞術語
附錄Ⅱ矽片生產加工相關標準
參考文獻

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基本介紹

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