石英反應室（quartz reaction chamber）是1993年發布的電子學名詞。
基本介紹
- 中文名：石英反應室
- 外文名：quartz reaction chamber
- 所屬學科：電子學
- 公布時間：1993年
公布時間,出處,
1993年經全國科學技術名詞審定委員會審定發布。
《電子學名詞》第一版。
石英反應室（quartz reaction chamber）是1993年發布的電子學名詞。
石英反應室 石英反應室（quartz reaction chamber）是1993年發布的電子學名詞。公布時間 1993年經全國科學技術名詞審定委員會審定發布。出處 《電子學名詞》第一版。
一般對反應室的要求是：（1）不要形成氣體湍流，而是層流狀態:；（2）基座本身不要有溫度梯度；（3）儘可能減少殘留效應。材質 通常反應室由石英玻璃製成，近年...
【反應室和加熱系統】 反應室是由石英管和石墨基座組成。為了生長組分均勻、超薄層、異質結構的化合物半導體材料,各生產廠家和研究者在反應室結構的設計上下了很大...
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熱絲法化學氣相沉積，亦稱“熱解化學氣相沉積”。通過熱解含碳氣體製備金剛石的方法。在由石英管或類似容器構成的真空反應室上部水平安裝以難熔金屬材料如鎢、鈮、...