熱流逸

熱流逸（英文：thermal transpiration）是電子學領域的專業術語，指氣體在溫度梯度作用下通過多孔介質或毛細管產生的流動現象，該現象在稀薄氣體條件下可觀測。該術語主要套用於真空技術及微機電系統（MEMS）領域，用於描述低壓環境下氣體分子運動與熱力學特性的相互作用。

熱流逸的物理機制與溫度差導致的分子速度分布變化密切相關。在努森數（Kn）劃分的流動形態中，過渡流和自由分子流區域的氣體流動受通道徑長比、溫差及氣體種類顯著影響。基於此效應開發的克努森壓縮機採用微通道組結構，具有無運動部件、可利用低品位熱能的特點，套用於真空製冷系統。

該術語由全國科學技術名詞審定委員會於1993年審定並收錄於《電子學名詞》第一版。隨著MEMS技術的發展，採用深反應離子刻蝕工藝製備的矽基熱流逸真空泵已實現工程套用。

基本介紹

• 中文名：熱流逸
• 外文名：thermal transpiration
• 所屬學科：電子學
• 公布時間：1993年

公布時間

1993年，經全國科學技術名詞審定委員會審定發布。

出處

《電子學名詞》第一版。