湖北省電漿化學與新材料重點實驗室

湖北省電漿化學與新材料重點實驗室成立於1998年，為湖北省教育廳、湖北省科技廳和武漢工程大學共建省級重點實驗室。本實驗室的主要研究方向為電漿技術及其在材料中的套用。

基本介紹

• 中文名：湖北省電漿化學與新材料重點實驗室
• 建築面積：600餘平方米
• 固定資產：400餘萬元
• 固定研究人員：14名
• 副教授：3名
• 高級工程師：1名

實驗室簡介

在電漿技術方面，主要進行多種電漿裝置的研製，包括微波電漿化學氣相沉積裝置、微波電子迴旋共振電漿化學 氣相沉積裝置、射頻電漿化學氣相沉積裝置、常壓電漿化學氣相沉積裝置以及微波源的研製工作。

實驗室規模

實驗室建築面積600餘平方米，固定資產400餘萬元， 擁有多種功率的微波電漿化學氣相沉積裝置、微波電子迴旋共振電漿化學氣相沉積裝置、熱絲化學氣相沉積裝置、大功率微波燒結爐、電漿刻蝕機、磁控濺射鍍膜機、超音速氧噴槍、X射線衍射儀等。實驗室現有固定研究人員14名，全部具有博士學位，其中教授10名，副教授3名，高級工程師1名。

實驗室成就

實驗室重視科研成果的開發，堅持走產學研結合的道路，近三年來共承擔了國家計委產業化示範工程項目、國家 863納米專項項目、國家自然科學基金、湖北省重大科技攻關專項項目、武漢市科技攻關項目等縱向項目20餘項，橫向項目10餘項。

實驗室研究方向

實驗室以電漿技術及其在材料中的套用作為其主要研究方向，密切電漿技術和材料科學的交叉融合，根據本學科的發展趨勢、學科前沿以及國民經濟和社會發展需要，結合自身科研工作的積累和優勢，選擇本領域若干可能的突破點進行創新性研究和套用基礎研究。主要研究內容如下：
（1）電漿技術：主要開展微波電漿技術、微波電子迴旋共振電漿技術、脈衝放電電漿技術、直流電離子體技術以及射頻電漿技術的開發研究，結合電漿診斷技術，圍繞新材料的開發與處理進行電漿的機理研究及相關裝置的開發研究；
（2）微波與微波化學研究：主要開展固定頻率高穩定度微波源的開發研製、微波萃取設備以及微波燒結爐的研製；
（3）材料製備與產業化研究：主要開展金剛石光學膜、熱沉膜、超硬金剛石塗層刀具、金剛石厚膜焊接刀具、超硬碳氮塗層以及納米碳管等新材料的製備與產業化研究，利用多種手段開展醫用高分子材料、功能礦物材料的製備與套用研究；
（4）電漿深亞微米刻蝕與表面改性研究：主要開展微波ECR電漿對多晶矽、石英玻璃的深亞微米可是技術研究以及高聚物、紡織品及動物毛料的電漿改性研究。

在電漿技術套用方面，主要進行新 材料的製備以及材料表面處理研究，其中以膜材料及納米材料的製備為主，包括金剛石膜的製備，SiO2膜的製備、ZnO膜的製備以及納米碳管的製備研究，同時進行了納米材料電漿改性、紡織品改性、高聚物改性以及電漿刻蝕研究。