氮化鋁材料

氮化鋁材料（aluminium nitride material）有陶瓷型和薄膜型兩種。

氮化鋁熱導率高、絕緣性能好電阻率高達4x lUfs7,"cm.,熱膨脹係數小(2.55一3.8U; x i0一“K一‘，化學性能穩定，在innU℃時才與空氣發生氧化。在真空中可穩定到ISUU}}。緻密型氮化鋁是抗水的，幾乎不與濃無機酸發生反應。密度為3.26gIcm3,熔點24UU C'彈性模量為3U( -- 31 f7C}Pa,抗彎強度為2sa一350MPa ,莫氏硬度為g.A1N陶瓷用粉末冶金法製得』氮化鋁薄膜用反應濺射法製得。AlU陶瓷片川於大功率半導體積體電路和大功率的厚模電路,AIN薄膜用於薄膜器件的介質和耐磨、耐熱、散熱好的材料表l}鍍層一、