氮化鈦薄膜電阻材料titt}niurr} nitride filmrescsto-r門}i 2e-rial} TiN一種中陰值的薄膜電阻材料3UU舉}2-rtn，電阻溫度係數小於1 LU一反應濺射和化學氣相沉積等方法製取。42飛二。電阻率( 7}C)一採用反應蒸發、主要l1!於一薄膜混合積體電路中製作薄膜電阻器
氮化鈦薄膜電阻材料titt}niurr} nitride filmrescsto-r門}i 2e-rial} TiN一種中陰值的薄膜電阻材料3UU舉}2-rtn,電阻溫度係數小於1 LU一反應濺射和化學氣相...
氮化物電阻薄膜是指氮化物電阻薄膜是由稀有金屬及其合金氮化物所組成的薄膜材料。...... 氮化物電阻薄膜是指氮化物電阻薄膜是由稀有金屬及其合金氮化物所組成的薄膜...
氮化鈦膜是指由鈦氮化合物組成的薄膜。氮化鈦屬於間隙化合物,具有美麗的金黃色光澤,化學穩定性好,熔點高達3000℃,維氏顯微硬度為20GPa左右。...
鉭矽電阻薄膜研究背景 編輯 由於薄膜材料套用範圍越來越廣,在高新技術中的地位...從而製造出了許多性能優異的薄膜如鉭鋁薄膜、鉭矽薄膜、氮化鉭薄膜、氮化鈦薄膜...
離子束改性、材料表面與界面、稀土磁性材料及巨磁電阻薄膜材料等方面的研究與...(14) 多弧離子鍍弧源靶工作條件對氮化鈦薄膜中鈦液滴的影響,胡社軍,曾鵬,謝...