氣相摻雜

氣相摻雜指通過氣相使雜質進入半導體的技術。

中文名稱氣相摻雜
英文名稱gas phase doping,vapor phase doping
定  義通過氣相使雜質進入半導體的技術。
套用學科材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),總論(三級學科)
套用學科:材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),總論(三級學科)

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