殷伯華

殷伯華，男，中國科學院大學專任教師。

基本介紹

• 中文名：殷伯華
• 國籍：中國
• 畢業院校：南京航空航天大學
• 學位/學歷：博士

人物經歷

教育背景

2007-04--2011-05 中國科學院研究生院 工學博士學位

2000-09--2003-07 北京工業大學 碩士學位

1992-09--1996-07 南京航空航天大學 學士學位

工作經歷

2007-04~2011-05,中國科學院研究生院, 工學博士學位

2003-08~現在, 中國科學院電工研究所, 高級工程師

2000-09~2003-07,北京工業大學, 碩士學位

1996-08~1999-10,中國航空精密機械研究所, 助理工程師

1992-09~1996-07,南京航空航天大學, 學士學位

社會兼職

2020-06-01-今,全國納米技術標準化技術委員會納米檢測分技術委員會, 委員

科研成果

專利成果

（ 1 ） 一種納米位移台掃描運動控制系統及其實現方法, 2021, 第 1 作者, 專利號: 201810953777.8

（ 2 ） 一種光學元件損傷的線上監測方法及系統, 2020, 第 1 作者, 專利號: 2020108664129

（ 3 ） 一種微納米尺度耦合振動高分辨測量方法, 2015, 第 1 作者, 專利號: 201310642547.7

（ 4 ） 掃描探針顯微鏡進針裝置及方法, 2014, 第 2 作者, 專利號: ZL 2012 1 0265549.4

（ 5 ） 一種計量型掃描電子顯微鏡成像控制系統及掃描成像方法, 2014, 第 1 作者, 專利號: ZL 2012 1 0158927.9

（ 6 ） 基於DSP-6713的M-SEM下位機軟體V1.0, 2014, 第 1 作者, 專利號: 2014SR042839

（ 7 ） 柔性鉸鏈位移台耦合振動主動補償系統, 2011, 第 1 作者, 專利號: ZL2009 1 0084022.X

出版信息

發表論文

（1） 電子束選區熔化實時檢測方法研究, Study on real-time detection method for electron beam selective melting process, Journal of Physics: Conference Series, 2020, 第 2 作者

（2） 電子束選區熔化加工中的離焦和像散分析, Analysis on defocusing and astigmatism of electron beam selective melting machines, Journal of Physics, ICMTIM 2020, 2020, 第 2 作者

（3） 計量型掃描電子顯微鏡成像的微納米級振動, Micro-nanometerscale vibracation in imaging of metrological scanning electron microscope, 光學 精密工程, 2019, 第 4 作者

（4） 計量電鏡中納米位移台控制方法研究, Ｒesearch on control method of nano-displacement table in metrology electron microscope, 電子顯微學報, 2019, 第 2 作者

（5） 電子束選區融合成像方法研究, Research on image monitoring method of electron beam selection melting, Materials Science and Engineering, 2019, 第 2 作者

（6） 基於雷射干涉方法的掃描電子顯微鏡線寬測量研究, Study of the Linewidth Measurement with Scanning Electron Microscope Based on Laser Interference principle, Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,, 2019, 第 1 作者

（7） Optimal design of Micro-Nano Positioning Stage with wide range and high speed based on flexure structures, the 2017 International Symposium on Materials，Processing, Mechanical Engineering (MPME 2017), 2017, 第 2 作者

（8） 工業原子力顯微鏡快速進針系統的設計, 現代科學儀器, 2016, 通訊作者

（9） A traceable metrological method with nanometer scale resolution for micro-structure, Key Engineering Materials, 2015, 第 1 作者

（10） Micron and nanometer measuring methods based on metrological scanning electron microscope, Key Engineering Materials, 2014, 第 1 作者

（11） Large scanning range and rapid AFM for biological cell topography imaging, Key Engineering Materials, 2013, 第 1 作者

（12） 高速大掃描範圍原子力顯微鏡系統的設計, 光學 精密工程, 2011, 第 1 作者

（13） 大範圍掃描原子力顯微鏡自動調平控制技術, 儀器儀表學報, 2011, 第 2 作者

科研項目

（ 1 ） 快速大範圍柔性鉸鏈位移台耦合振動機理和控制方法研究, 主持, 國家級, 2014-01--2017-12

（ 2 ） 納米生物醫學共聚焦激發/掃描探針光聲成像系統, 參與, 部委級, 2014-10--2016-10

（ 3 ） 現有關鍵技術人才”計畫項目, 主持, 部委級, 2015-01--2017-12

（ 4 ） 基於納米位移平台的 SPM 掃描系統套用開發及光電子器件測量, 主持, 國家級, 2017-07--2019-06

（ 5 ） 大功率、長壽命、多模式電子槍及陣列研製與增材製造中的套用, 參與, 國家級, 2018-05--2021-04

（ 6 ） 電子束矽片圖形缺陷檢測設備研發與產業化, 參與, 國家級, 2018-01--2020-12

（ 7 ） 生物醫學場發射掃描電子顯微鏡, 主持, 部委級, 2018-12--2021-11

（ 8 ） 微區X射線能譜儀研製, 主持, 部委級, 2020-08--2022-08

（ 9 ） 微納加工技術共性關鍵技術研發團隊, 主持, 部委級, 2020-01--2022-12