掃描電鏡研究方法

掃描電鏡研究方法是隨著科學技術的發展，掃描電鏡已成為檢測固體物質的重要手段。利用電子顯微術力求觀察到更微小的物體結構，甚至單個原子;力求從試樣上得到更多的信息，以便對其進行各種研究。由於掃描電鏡具有分辨能力高，景深長，視野大，成像富有立體感，可以直接觀察樣品凹凸不平的表面，例如金屬斷口，催化劑表面，無機非金屬材料的形貌等等。用掃描電鏡還可以進行電子通道花樣分析，從而研究試樣微區的晶體學位向，晶體對稱性，應變稱度和位錯密度等問題。

掃描電鏡與X光微區分析、微區電子衍射、俄歇電子譜儀、電子損失能譜儀等技術相結合，可以在觀察形貌的同時，對試樣進行微區化學成分及結構分析。掃描電鏡配上特製拉伸台，可以觀察試樣在高溫、低溫、拉伸，彎曲等過程的動態變化。作為探測微觀世界“眼睛”的掃描電鏡近年來又有了新的進展，掃描隧道顯微鏡的出現，使解析度提高到2～3埃，推動了納米材料的製備與加工的進展。但是也有其局限性，儀器複雜，價格昂費，試樣製備困難。使用範圍也有一定局限性。