批次控制

批次控制（Run-to-run control 或簡記為 R2R control），又稱為批對批控制，是反饋控制的一種，與疊代學習控制和重複控制有很多類似之處

基本介紹

• 中文名：批次控制
• 外文名：Run-to-run control 
• 簡記：R2R control 或 RtR control
• 別名：批對批控制

介紹

批次控制（Run-to-run control 或簡記為 R2R control），又稱為批對批控制，是反饋控制的一種，與疊代學習控制和重複控制有很多類似之處。它通過對過程的歷史批次數據的統計分析來改變下一批次的製程方案（Recipe），解決間歇過程中因缺乏線上測量手段而造成難以進行實時過程控制的問題，從而降低批次產品的質量差異。

套用

批次控制是比較新的控制理念，在現代的半導體生產過程中有大量套用，比如在電漿刻蝕技術中的套用。 批次控制常與人工神經網路結合使用。