手動探針台的主要用途是為半導體晶片的電參數測試提供一個測試平台，探針台可吸附多種規格晶片，並提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成積體電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用於對晶片進行科研分析，抽查測試等用途。
基本介紹
- 中文名：手動探針台
- 外文名：PROBE STATION
- 用途：為半導體晶片的電參數測試提供一個測試平台
- 適用領域：科研單位研發測試、院校教學操作、企業實驗室晶片失效分析等
1.什麼是探針台
探針台是一種輔助執行機構，測試人員把需要量測的器件放到探針台載物台（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精準扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機導通，通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。
2探針台套用
手動探針台廣泛套用於，科研單位研發測試、院校教學操作、企業實驗室晶片失效分析等領域。一般使用於研發測試階段 ，批量不是很大的情況，大批量的重複測試推薦使用探卡。
主要功能：搭配外接測試測半導體參數測試儀、示波器、網分等測試源表，量測半導體器件IV CV脈衝/動態IV等參數。
用途：以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能（如電流、電壓、阻抗等）或工作狀態，測試人員一般會採用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展，對於精密微小（納米級）的微電子器件（如IC、wafer、Chip、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector），表筆點到被測位置就顯得無能為力了。於是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來，便於其電性測試設備（不屬於本機器）對此測試、分析。
探針台執行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動，移動範圍12mm，移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上（說明探針是耗材，一般客戶自己準備），探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸到與其連線的測試機上，從而得到電性能的參數。對於重複測試同種器件，多個點位的推薦使用探針台安裝探卡進行測試。
3、工作環境
探針台應放在堅固穩定的檯面上，如地基有震動的情況，需要配置主動防震裝置，避免在高溫、潮濕、激烈震動、陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。使用最佳溫度範圍為5℃～40℃，最佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低於30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之範圍。使用時門窗儘可能關閉，使室內達到除濕效果。
使用電源：220V，50Hz
