自動探針台

自動探針台是一種用於電子與通信技術、計算機科學技術領域的工藝試驗儀器，於2006年10月23日啟用。

基本介紹

• 中文名：自動探針台
• 產地：美國
• 學科領域：電子與通信技術、計算機科學技術
• 啟用日期：2006年10月23日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

晶圓尺寸：4,5,6,8 晶圓片裝卸：1個載片盒 (25 或者 26 個片槽)，連續的可程式雙向載入，快速單片晶圓手動上下片，防晶圓交叉保護 XYZ- 精度：±4。

主要功能

積體電路晶圓測試。