感測技術國家重點實驗室經國家計委批准於1987年成立，1989年通過國家驗收。實驗室由南北兩個基地及四個專業點組成。
基本介紹
- 中文名：感測技術國家重點實驗室
- 南方基地：上海微系統與信息技術研究所
- 北方基地：中科院電子學研究所
- 光感測器：中科院上海技術物理研究所
- 厚膜感測器：中科院合肥智慧型機械研究所
- 氣敏感測器：中科院半導體研究所
- 生物感測器：中科院微生物研究所
基本信息,北方基地,
基本信息
南方基地依託單位為中科院上海微系統與信息技術研究所。
北方基地依託單位為中科院電子學研究所。
四個專業點分別是光感測器專業點（設在中科院上海技術物理研究所）、厚膜感測器專業點（設在中科院合肥智慧型機械研究所）、氣敏感測器專業點（設在中科院半導體研究所）、生物感測器專業點（設在中科院微生物研究所）。
實驗室已通過1993、1997、2002年三次評估。
2011年11月1日，科技部根據《國家重點實驗室建設與運行管理辦法》和《國家重點實驗室評估規則》的精神，2012年將對信息領域的國家重點實驗室，“感測技術國家重點實驗室（中國科學院上海微系統與信息技術研究所、中國科學院電子學研究所）”進行評估，2012年信息領域國家重點實驗室評估的具體工作委託國家自然科學基金委員會承擔。
北方基地
1. 領域總體介紹
感測技術國家重點實驗室（北方基地）成立於1987年。實驗室面向國家戰略需求和世界科技前沿，以基於微電子和微機械加工技術的微感測器和系統作為主要研究方向，開展基礎性、戰略性、前瞻性的研究工作。實驗室致力於提高我國感測技術的自主創新能力和國際競爭力，推動我國感測技術的套用和產業的發展，為國民經濟建設服務，並建設我國感測技術的研究基地和高素質、高水平感測技術人才的培養基地。
感測技術國家重點實驗室（北方基地）側重進行感測器的新原理、新方法、新技術、新器件、新系統的研究，實現感測器的微型化、集成化、智慧型化和網路化。實驗室自建立以來得到了迅速發展。先後承擔和完成了“973”、“863”、國家自然科學基金、國家科技攻關等一批國家級科研項目，在新型感測器和微系統研究領域取得了一批有特色、高水平的創新性研究成果。
2. 主要技術優勢
感測技術國家重點實驗室（北方基地）經過二十餘年的建設和奮鬥，在微納感測器及微系統的研究中獲得巨大進展，取得了突出成績，逐步形成了以基於微納加工技術的微感測器和微系統為主要創新方向的研究特點，具有電子學、信息技術、生物技術、化學、材料科學等多學科交叉的綜合優勢，並已成為國內外廣泛認可、具有一定國際影響力和較強競爭力的感測技術研究基地，同時形成了具有一流人才與完整學術梯隊以及先進儀器設備與科研條件的國家級研究基地。
實驗室現有面積3500多平方米，其中500平米超淨間，擁有一條完整的微電子機械系統（MEMS）加工工藝線，具有先進的工藝和測試設備，形成了一整套加工工藝規範，具備各種微結構器件的加工能力。實驗室已研製出一批具有特色的高水平感測器及系統，如電場感測器及系統、SPR生化分析儀、生物感測器及系統、氣體感測器及系統、微流控晶片系統、集成氣象感測器、高精度壓力感測器、微慣性感測器等，具有雄厚的研究基礎和很強的技術攻關與自主創新能力。
3. 主要的科研工作
（1）微電子機械系統（MEMS）加工與封裝技術
（2）實驗室晶片（Lab-on-Chip）與微全分析系統（µTAS）
（3）生物微感測器集成化晶片系統（SOC）
（4）多參數血液檢測微系統
（5）表面電漿諧振（SPR）生化分析儀
（6）危化品檢測氣體感測器
（7）污染監測生化微感測器
（8）攜帶型離子遷移率譜儀（IMS）
（9）電場感測器
（10）高精度壓力感測器
（11）微型加速度感測器和陀螺儀
（12）溫濕壓集成氣象感測器
（13）新型集成光學感測器
（14）無線感測器網
