微粗糙度

微粗糙度是實際表面同規定平面的小數值範圍的偏差，它有許多小的距離很近的峰和谷。它是矽片表面紋理的標誌。表面微粗糙度測量了矽片表面最高點和最低點的高度差別，它的單

位是納米。粗糙度的標準是用均方根來表示的，它是規定平面所有測量數值的平方的平均值的平方根。這是一個用來確定最可能的測量數據的普通統計方法。矽片表面的微粗糙度的測量是用幾種光學表面形貌分析儀的一種進行的。

對晶片製造來講，表面微粗糙度的控制非常重要，這是因為在器件製造中，它對矽片上非常薄的介質層的擊穿有著負面影響。矽片在磨片後要刻蝕以去除表面微粗糙度。