微機電系統與微細加工技術

內容簡介

《國防科工委“十五”規劃教材：微機電系統與微細加工技術》共分五章，包括微機電系統和微細加工技術的發展趨勢，對微機電系統原理和設計、微細加工技術、相關的檢測技術以及微機電系統的套用等內容進行了介紹和討論。《微機電系統與微細加工技術》可作為機械工程類或其他工程類本科生、研究生課程的教材，也可以作為其他有關技術人員了解微機電系統與微製造技術的參考書籍。目錄

1 緒論

1.1 微機電系統與微型化

1.2 微型化韻基礎——微細製造

2 微機電系統組成原理及設計

2.1 微機電系統的組成和工作原理

2.2 微尺度理論基礎

2.3 計算機輔助設計

習題

3 微細加工技術

3.1 矽微細加工

3.2 UGA技術

3.3 微細電火花加工

3.4 微細電鑄

3.5 微細電解加工

3.6 微細高能柬流加工

習題

4 微機電系統的檢測

4.1 MEMS器件的幾何量測量

4.2 力學性能測試

習題

5 微機電系統的套用

5.1 微機電系統的軍事套用

5.2 微機電系統在民用工業中的套用

習題

參考文獻

前言

國防科技工業是國家戰略性產業，是國防現代化的重要工業和技術基礎，也是國民經濟發展和科學技術現代化的重要推動力量。半個多世紀以來，在黨中央、國務院的正確領導和親切關懷下，國防科技工業廣大幹部職工在知識的傳承、科技的攀登與時代的洗禮中，取得了舉世矚目的輝煌成就。研製、生產了大量武器裝備，滿足了我軍由單一陸軍，發展成為包括空軍、海軍、第二炮兵和其他技術兵種在內的合成軍隊的需要，特別是在尖端技術方面，成功地掌握了核子彈、氫彈、洲際飛彈、人造衛星和核潛艇技術，使我軍擁有了一批克敵制勝的高技術武器裝備，使我國成為世界上少數幾個獨立掌握核技術和外層空間技術的國家之一。

微機電系統與微細加工技術

基本介紹

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