《微機械與微細加工技術》內容簡介：微機械被譽為21世紀最具代表性的技術之一。《微機械與微細加工技術》共分8章，結合作者近年來的研究工作，系統地介紹了微機械學科的起源、發展過程及當前國內外該學科的研究內容與成果，內容包括微機械理論基礎、微機械材料與微結構、微細加工技術、準分子雷射微細加工技術、微檢測技術、微感測器、微致動器及其它微器件、典型微型電子機械系統與微機器人等等。《微機械與微細加工技術》可供從事微機械研究的科技人員使用，也可供相關學科的師生參考。
基本介紹
- 書名：微機械與微細加工技術
- 出版社：西北工業大學出版社
- 頁數：243頁
- 開本：32
- 品牌：西北工業大學出版社
- 作者：苑偉政 馬炳和
- 出版日期：2000年8月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：9787561212745, 7561212747
內容簡介,作者簡介,圖書目錄,序言,
內容簡介
《微機械與微細加工技術》是由西北工業大學出版社出版的
作者簡介
苑偉政，男，1961年生，博士，教授，博士研究生導師。現任西北工業大學現代製造工程研究所所長兼微機械與微細加工技術研究室主任，機械製造學科跨世紀學科帶頭人。
主要從事微機械與微細加工技術、CAM與CIMS、難加工材料切削加工與精密加工技術等方面的研究工作。近年來主持承擔了包括國家自然科學基金在內的24項研究課題，獲省部級科技進步獎5項，發表研究論文40餘篇，其中10餘篇被工程索引（EI）收入。
馬炳和，男，1972年生，河北省辛集市人，博士，西北工業大學講師。主要研究方向為微電子機械系統（MEMS）、微細加工技術、精密測試技術等。
主要從事微機械與微細加工技術、CAM與CIMS、難加工材料切削加工與精密加工技術等方面的研究工作。近年來主持承擔了包括國家自然科學基金在內的24項研究課題，獲省部級科技進步獎5項，發表研究論文40餘篇，其中10餘篇被工程索引（EI）收入。
馬炳和，男，1972年生，河北省辛集市人，博士，西北工業大學講師。主要研究方向為微電子機械系統（MEMS）、微細加工技術、精密測試技術等。
圖書目錄
緒論
第一章 微機械理論基礎
1.1 微機械學
1.2 微動力學
1.3 微電子學
1.4 微光學
1.5 微流體力學
1.6 微熱力學
1.7 微摩擦學
1.8 納米生物學
1.9 分子裝配技術
第二章 微機械材料與微結構
2.1 引言
2.2 微機械材料
2.2.1 矽材料
2.2.2 形狀記憶材料
2.2.3 壓電陶瓷/電致伸縮材料
2.2.4 超磁致伸縮材料
2.2.5 電流變體
2.2.6 磁流變體
2.2.7 有機聚合物材料
2.3 微結構與微型智慧型結構
2.3.1 主動控制結構類
2.3.2 被動阻尼結構類
第三章 微細加工技術
3.1 引言
3.2 矽微細加工技術
3.2.1 薄膜製備技術
3.2.2 微機械器件薄膜製備技術
3.3 光刻技術
3.3.1 光刻掩模製作工藝
3.3.2 曝光技術
3.3.3 刻蝕技術
3.3.4 表面薄膜的化學刻蝕加工
3.4 犧牲層技術
3.5 外延技術
3.6 高能束刻蝕技術
3.6.1 離子束刻蝕
3.6.2 電漿刻蝕
3.6.3 雷射刻蝕
3.7 LIGA技術
3.8 微細立體光刻技術
3.9 精密放電加工技術與超精密機械加工技術
3.10 微機械裝配與集成
3.10.1 堆裝技術
3.10.2 封裝技術
3.10.3 集成製造技術
第四章 準分子雷射微細加工技術
4.1 引言
4.2 準分子雷射器及其工作原理
4.2.1 準分子與準分子雷射器
4.2.2 準分子雷射器的泵浦方式
4.3 直寫微細加工的準分子雷射光束特性
4.3.1 直寫微細加工
4.3.2 光束特性
4.4 準分子雷射直寫微細加工
4.4.1 聚焦準分子雷射直接刻蝕矽材料
4.4.2 準分子雷射輔助刻蝕矽材料
4.4.3 準分子雷射直寫微細加工
4.5 準分子雷射直寫微細加工系統
4.5.1 系統構成與工作原理
4.5.2 加工控制與監測
4.5.3 加工光斑
4.5.4 掃描運動
4.5.5 聲光調製器
4.5.6 直寫微細加工及其CAD/CAM
4.5.7 系統的加工精度分析
4.6 準分子雷射直寫刻蝕基本規律
4.6.1 微加工材料表面的顯微形貌
4.6.2 準分子雷射對於矽材料的直接刻蝕規律
4.6.3 單脈衝刻蝕情況.
4.6.4 熱量與熱影響區
4.6.5 刻蝕深度的變化規律
4.6.6 由衝擊破壞現象引起的受力情況分析
4.7 光束質量的改善措施
第五章 微檢測技術
5.1 引言
5.2 現代微觀檢測方法與設備
5.2.1 掃描探針顯微鏡
5.2.2 干涉與測量
5.3 微機械結構的幾何尺寸測量
5.3.1 測量方法的分析與選擇
5.3.2 基於光切法的微結構尺寸測量
5.3.3 基於光切法的圖像測量系統設計
5.3.4 微結構件幾何尺寸測量示例
5.4 物理量測量
5.4.1 彈性模量測量
5.4.2 殘餘應力測量
5.4.3 測量與結果
第六章 微感測器
6.1 引言
6.2 電量檢測感測器
6.2.1 壓電式感測器
6.2.2 電容式感測器
6.2.3 壓阻式感測器
6.3 機械量微感測器
6.3.1 結構彈性變形微感測器
6.3.2 機械振動結構徽感測器
6.3.3 振動體激勵微感測器
6.3.4 諧振集成微感測器
……
第七章 微致動器及其它微器件
第八章 典型微型電子機械系統與微機器人
第一章 微機械理論基礎
1.1 微機械學
1.2 微動力學
1.3 微電子學
1.4 微光學
1.5 微流體力學
1.6 微熱力學
1.7 微摩擦學
1.8 納米生物學
1.9 分子裝配技術
第二章 微機械材料與微結構
2.1 引言
2.2 微機械材料
2.2.1 矽材料
2.2.2 形狀記憶材料
2.2.3 壓電陶瓷/電致伸縮材料
2.2.4 超磁致伸縮材料
2.2.5 電流變體
2.2.6 磁流變體
2.2.7 有機聚合物材料
2.3 微結構與微型智慧型結構
2.3.1 主動控制結構類
2.3.2 被動阻尼結構類
第三章 微細加工技術
3.1 引言
3.2 矽微細加工技術
3.2.1 薄膜製備技術
3.2.2 微機械器件薄膜製備技術
3.3 光刻技術
3.3.1 光刻掩模製作工藝
3.3.2 曝光技術
3.3.3 刻蝕技術
3.3.4 表面薄膜的化學刻蝕加工
3.4 犧牲層技術
3.5 外延技術
3.6 高能束刻蝕技術
3.6.1 離子束刻蝕
3.6.2 電漿刻蝕
3.6.3 雷射刻蝕
3.7 LIGA技術
3.8 微細立體光刻技術
3.9 精密放電加工技術與超精密機械加工技術
3.10 微機械裝配與集成
3.10.1 堆裝技術
3.10.2 封裝技術
3.10.3 集成製造技術
第四章 準分子雷射微細加工技術
4.1 引言
4.2 準分子雷射器及其工作原理
4.2.1 準分子與準分子雷射器
4.2.2 準分子雷射器的泵浦方式
4.3 直寫微細加工的準分子雷射光束特性
4.3.1 直寫微細加工
4.3.2 光束特性
4.4 準分子雷射直寫微細加工
4.4.1 聚焦準分子雷射直接刻蝕矽材料
4.4.2 準分子雷射輔助刻蝕矽材料
4.4.3 準分子雷射直寫微細加工
4.5 準分子雷射直寫微細加工系統
4.5.1 系統構成與工作原理
4.5.2 加工控制與監測
4.5.3 加工光斑
4.5.4 掃描運動
4.5.5 聲光調製器
4.5.6 直寫微細加工及其CAD/CAM
4.5.7 系統的加工精度分析
4.6 準分子雷射直寫刻蝕基本規律
4.6.1 微加工材料表面的顯微形貌
4.6.2 準分子雷射對於矽材料的直接刻蝕規律
4.6.3 單脈衝刻蝕情況.
4.6.4 熱量與熱影響區
4.6.5 刻蝕深度的變化規律
4.6.6 由衝擊破壞現象引起的受力情況分析
4.7 光束質量的改善措施
第五章 微檢測技術
5.1 引言
5.2 現代微觀檢測方法與設備
5.2.1 掃描探針顯微鏡
5.2.2 干涉與測量
5.3 微機械結構的幾何尺寸測量
5.3.1 測量方法的分析與選擇
5.3.2 基於光切法的微結構尺寸測量
5.3.3 基於光切法的圖像測量系統設計
5.3.4 微結構件幾何尺寸測量示例
5.4 物理量測量
5.4.1 彈性模量測量
5.4.2 殘餘應力測量
5.4.3 測量與結果
第六章 微感測器
6.1 引言
6.2 電量檢測感測器
6.2.1 壓電式感測器
6.2.2 電容式感測器
6.2.3 壓阻式感測器
6.3 機械量微感測器
6.3.1 結構彈性變形微感測器
6.3.2 機械振動結構徽感測器
6.3.3 振動體激勵微感測器
6.3.4 諧振集成微感測器
……
第七章 微致動器及其它微器件
第八章 典型微型電子機械系統與微機器人
序言
隨著微技術（Microtechnology）的不斷發展，以形狀尺寸微小、操作尺度極小為特徵的微機械已成為人們從微觀角度認識和改造客觀世界的一種高新技術。微機械在國防、醫療、儀器檢測、材料等領域，尤其是活動空間狹小、操作精度要求高、功能需要高度集成的航空航天等領域，具有廣泛的套用前景。微機械不僅涉及微電子學、微機械學、微光學、微動力學、微流體力學、微熱力學、材料學、物理學、化學和生物學等廣泛的學科領域，而且涉及從材料、設計、製造、控制、能源直到檢測、集成、封裝等一系列的技術環節。微機械技術的發展以上述學科和技術為基礎，反過來也將帶動相關學科和技術的發展。此外，微機械技術還有望成為研究納米技術的重要手段。因此，微機械被列為本世紀末10大關鍵技術之首，並受到各工業已開發國家的高度重視。如：歐洲的尤里卡計畫明確提出將微機械作為一個重要的研究內容，並在法、德兩國組織實施；美國國會也把微機械的研究作為21世紀重點發展的學科之一；日本通產省已於1991年啟動一項為期10年的微機械研究計畫。在我國，微機械與微細加工技術的研究也得到了許多部門的重視，國防科工委已提出將微型慣性測量組合MIMU（Micro Inertia Mea-surement Unit）等作為微機械的發展重點；國家科委、國家自然科學基金委員會也都將微機械與微細加工技術列為重點發展方向之一。
微機械作為一門學科出現，總共不過幾年時間，國內外有關研究也還不成熟。
微機械作為一門學科出現，總共不過幾年時間，國內外有關研究也還不成熟。
