微探針台

微探針台是一種用於信息科學與系統科學、電子與通信技術領域的分析儀器，於2013年1月6日啟用。

基本介紹

• 中文名：微探針台
• 產地：美國
• 學科領域：信息科學與系統科學、電子與通信技術
• 啟用日期：2013年1月6日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針

技術指標

扎針pad≥5μm*5μm，晶圓≤8寸，溫度≤200℃，附帶有源探針。

主要功能

微探針台系統可以對晶片內部進行切割和扎針，以便進行Debug，進行快速故障定位和排除。