套準(光刻工藝套準)

套準是指積體電路製造光刻工藝中，各功能層之間圖形相對位置準確度所達到的允許範圍。

基本介紹

• 中文名：套準
• 外文名：registration

在某給定的積體電路或器件的一套整肯懂掩模正確疊加時，其中每一塊的掩模的全部功能圖形與其他任何一塊掩模版上相應圖形鞏厚促膠相說元潤對位置的準確度達到允許蜜閥巴的範圍。或者說，半導體積體電路工藝中所有功能層之間相歸拘榜互疊加時，各層甩廈戰頸之間的章背圖形相對位置的準確度達到允許的範圍。