主要用途： 1、樣品的表面組成分析，化學狀態分析，取樣嘗試為～3nm； 2、可進行樣品表面的微區選點分析（包括點分析，線分析和面分析） 3、元素成分的深度分析（角分辨方式和氬離子刻蝕方式） 4、可進行樣品的原位處理 適合於： 納米薄膜材料、微電子材料、催化劑、摩擦化學、高分子材料的表面和界面研究及摩擦化學研究。
基本介紹
- 中文名：多功能電子能譜系統
- 儀器類別：電子能譜儀
- 靈敏度：>700KCPS
- 能量解析度：1‰
儀器類別： 0303070701 /儀器儀表 /成份分析儀器 /電子能譜儀
指標信息： 主真空室：≤6.7×10-8Pa，場發射電子槍燈絲，SEM束斑：≤6nm，電子槍束斑：≤7nm，信噪比：700:1，靈敏度：>700KCPS，能量解析度：1‰；二次電子像斑束直徑為9-200微米，32通道檢測器，微區分析靈敏度<30微米，可進行深度剖析，可獲得高深度解析度，可對絕緣樣品進行分析。
附屬檔案信息： 場發射電子槍激發源，快速氬離子刻蝕槍，能量損失譜（EELS），多通道筒徑分析器，低能離子散射譜（ISS ）
