| 中文名稱 | 各向同性刻蝕 |
| 英文名稱 | isotropic etching |
| 定 義 | 通常是指不同的結晶學平面呈現出相同腐蝕速率的腐蝕方法。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科） |
| 中文名稱 | 各向同性刻蝕 |
| 英文名稱 | isotropic etching |
| 定 義 | 通常是指不同的結晶學平面呈現出相同腐蝕速率的腐蝕方法。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科） |
各向同性刻蝕編輯 鎖定 本詞條缺少信息欄、名片圖,補充相關內容使詞條更完整,還能快速升級,趕緊來編輯吧!中文名稱 各向同性刻蝕 英文名稱 isotropic etching 定義...
刻蝕剖面指的是被刻蝕圖形的側壁形狀。有兩種基本的刻蝕剖面:各向同性和各向異性刻蝕剖面。各向同性的刻蝕剖面是在所有方向上(橫向和縱向)以相同的刻蝕速率進行刻蝕,...
各向同性刻蝕與非各向同性刻蝕(3張) 定向模式——需要非等向性刻蝕(anisotropic etching)的基片可以放置在特製的平面托架上。下游模式——基片可以放置在不帶電托...
如果橫向刻蝕速率為0,則將這種刻蝕工藝稱為理想的各向異性(A=1)。反之,當A=0時則代表橫向與縱向刻蝕速率相同 [1] 。圖1 典型各向同性刻蝕工藝,顯示出刻蝕...
在Bosch工藝中由於刻蝕與鈍化的互相轉換,而每一步刻蝕都是各向同性的,因此造成刻蝕邊壁表面的波紋效應(scalping)。圖2是典型的由於Bosch工藝形成的邊壁波紋。邊壁...