六自由度精密定位工作檯由上下兩層平台連線而成
工作原理,精度,權利要求,
工作原理
六自由度精密定位工作檯，它由上下兩層平台連線而成，其中下層平台由兩組雙平行板式柔性鉸鏈作為導向機構，採用三組驅動單元實現兩個方向的平動和一個方向的轉動。上層平台與下層平台的運動平台部分連線，採用三組等邊三角形布置的驅動單元和球面副柔性鉸鏈實現一個方向的平動和兩個方向的轉動。驅動單元採用壓電陶瓷致動器，使位移輸出解析度和定位精度高，頻率回響快，無機械摩擦，且機構定位可以實現補償。
精度
本實用新型可實現納米級的定位精度。
權利要求
一種六自由度精密定位工作檯，其特徵在於它由上層平台⑵和底層平台⑴構成：所述的底層平台⑴上包含固定台體（1-1）、運動平台（1-2）、第一平行板式柔性鉸鏈（1-3）、第二平行板式柔性鉸鏈（1-4）、三組柔性鉸鏈（1-5） 和連線凸台（1-6），三組相同的第一壓電陶瓷致動器⑻和緊定件⑼； 所述的上層平台⑵通過三組相同的第二壓電陶瓷致動器⑹、傳動構件⑸、緊定螺釘⑷、連線螺釘⑶、鎖緊螺釘⑺與底層平台⑴的運動平台（1-2）連線，形成一個運動整體； 三組柔性鉸鏈（1-5）和連線凸台（1-6）中的一組的中心線與第一雙平行板柔性鉸鏈（1-3）的對稱中心線重合，另外兩組對稱地布置於第二雙平行板柔性鉸鏈（1-4）的對稱軸兩側；三組第一壓電陶瓷致動器⑻通過各自的緊定件⑼與連線凸台（1-6）和柔性鉸鏈（1-5）形成三組水平面內的驅動單元； 垂直方向驅動的三組第二壓電陶瓷致動器⑹呈等邊三角形排列，其下端通過鎖緊螺釘⑺內嵌在底層平台⑴的運動平台（1-2）上，上端連線傳動構件⑸，通過緊定螺釘⑷和連線螺釘⑶與上層平台⑵連線成一體；由連線螺釘⑶、緊定螺釘⑷、傳動構件⑸、第二壓電陶瓷致動器⑹、鎖緊螺釘⑺形成垂直面內的三組驅動單元；
