光學顯影

光學顯影是在光阻上經過曝光和顯影的程式，把光罩上的圖形轉換到光阻 下面的薄膜層或矽晶上。光學顯影主要包含了光阻塗布、烘烤、光罩對準、 曝光和顯影等程式。小尺寸之顯像解析度，更在 IC 製程的進步上，扮演著 最關鍵的角色。由於光學上的需要，此段製程之照明採用偏黃色的可見光。因此俗稱此區為 黃光區。